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头发的直径约为80微米

头发的直径约为80微米,22纳米是头发直径的1/3600。也就是说,这个光刻机能够在头发表面加工各种复杂的结构。
  ASML最新的第五代光刻机使用波长更短的13.5纳米极紫外光(EUV),用于实现14纳米、10纳米、及7纳米制程的芯片生产。
   一台这样的光刻机售价1亿美元以上。
   而中科院光电所这台设备,使用波长更长、更普通的紫外光,意味着国产光刻机使用低成本光源,实现了更高分辨力的光刻。
   有网友评价称,中国造的光刻机说不定和其他被中国攻克的高科技设备一样,以后也成了白菜价。
  上海微电子装备目前生产的光刻机仅能加工90纳米工艺制程芯片,这已经是国产光刻机最高水平。而ASML已经量产7纳米制程EUV光刻机,至少存在着十几年的技术差距。
   光刻机是制造芯片的核心装备,过去一直是中国的技术弱项。光刻机的水平严重制约着中国芯片技术的发展。

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